Kính hiển vi điện tử ZEISS Gemini SEM 360

Thông số kỹ thuật
Thông tin hãng sản xuất
Độ phân giải:
0.4nm @ 30 kV (STEM)
0.5nm @ 15 kV
0.7nm @ 1 kV TD
0.8nm @ 1 kV
1.0nm @ 500 V
Dòng dò: 3 pA – 20 nA (cũng có sẵn cấu hình 100 nA)
Trường nhìn tối đa ở chế độ độ phân giải cao: 1.6 mm ở 1 kV và WD = 7 mm
Độ phóng đại: 1 – 2,000,000
Cơ giới 5 trục:
X = 130 mm; Y = 130mm
Z = 50 mm
T = -4º đến 70º
R = 360º (liên tục)
Kích thước mẫu thử: đường kính lên tới 179 mm cho toàn bộ phạm vi di chuyển là 130 mm.