ZEISS Gemini SEM 360 电子显微镜

技术规格
制造商信息
分辨率：

0.4nm @ 30 kV (STEM)

0.5nm @ 15 kV

0.7nm @ 1 kV TD

0.8nm @ 1 kV

1.0nm @ 500 V

探头电流：3 pA – 20 nA (还提供 100 nA 配置）

高分辨率模式下的最大视场：1 kV 时为 1.6 毫米，WD = 7 毫米
放大倍数：1 – 2,000,000

5轴电动：

X = 130 mm； Y = 130mm

Z = 50 mm

T = -4°至70°

R = 360°（连续）

测试样本尺寸：直径最大为 179 毫米，全行程范围为 130 毫米。